微光显微分析系统 Emmi

LS-20MATE 微光显微分析系统 (EMMI) 是专为半导体器件漏电缺陷检测而设计的高精度检测系统。该设备采用先进的 -80℃制冷 InGaAs 探测器和高分辨率显微物镜,具备超高的检测灵敏度，能够检测到器件在微弱漏电流信号下产生的极微弱的微光信号。
通过超高灵敏度成像，该设备能够快速定位和分析漏电缺陷，帮助工程师优化生产工艺，提高产品可靠性，为半导体器件的质量控制和失效分析提供安全可靠的解决方案。