随着制造技术的不断进步为了降低事故的发生率，在无损检测行业里用于C-SAM检测手段越来越多了起来，此检测是通过不同密度材料的反射速率及能量不同的特性来进行分析。 利用纯水当介质传输超声波信号，当讯号遇到不同材料的界面时会部分反射及穿透，此种发射回波强度会因为材料密度不同而有所差异，扫描声学显微镜就是利用此特性，来检验材料内部的缺陷并依所接收的信号变化将之成像。在IC封装、IGBT、陶瓷电容、金属基板分层等行业应用广泛。

Fine SAT III或Fine SAT V设备C-SAM检测下的扫描精度在500nm，在搭载了磁悬浮扫描轴的情况下可以做到2m/s的扫描速度，通过使用频率500MHZ的探头后，配合高灵敏度组件、高精度扫描仪可以检测到更细微的缺陷。