主要技术参数：

1.    *手动控制系统

2.    *根据工艺要求不同，可设定真空泵启动与停止、功率、压强、气体流量与时间等参数

3.    双路工作气体，浮球气体流量控制器

4.    *反应舱材质铝合金，尺寸150*325*160 mm ，容积为7L 舱门大小150*160mm

5.    高周波电流频率100kHz,功率0~500W

6.    反射波手动调节

7.    电极材质为铝/不锈钢

8.    运行模式为手动

9.    真空泵的排气能力为8m3/Hour.

10.*配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

11.外尺寸：560*750*460mm

12.电源电压：单相AC230V 16A

13.两层托盘，一个电极

配置清单：