主要技术参数：

1.    手动控制

2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数

3.    双路工作气体，气体流量通过针型阀流量控制

4.    反应舱为高硼硅玻璃，Φ 211 mm、长 300 mm，容积10.5L

5.    高周波电流频率40KHZ 0-200W

6.    反射波自动调节，无须手工调节

7.    电极材质为铝/不锈钢

8.    运行模式为手动

9.    真空泵的排气能力为8m3/Hour，

10.*配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

11.外尺寸：宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm

12.电源电压：单相AC230V 16A

配置清单：