一、超声波原理

1. 什么是超声波

可听音的频率为20～20KHz

具有20KHz以上频率的声波称之为

超声波

频率越高分辨率越高，

频率越低穿透力越强。

2. 超声波的特长

2.1　使超声波的反射信息图像化

与X-ray的透射图像不同，超声波能够得到产品的内部构造、缺陷位置与深度信息。

2.2　检测空气（空隙）的能力出色

最小能够检测出5nm的间隙

※X-ray仅能检测出尺寸为样品厚度5%以上的空隙。

例：样品厚度1mm　→　50μm以下的空隙X-ray无法检测出。

2.3　与X-ray的比较

超声波影像设备（ＳＡＴ）检测出空隙的能力高

X-ray对于Wire观察或形状的评价较擅长

2.4 有关缺陷检测能力

二、超声探伤的适用范围　

三、超声波的应用

1、半导体封装IC模块

2、积层IC模块　

（1）

（2）

3、封装树脂内气泡评价

4、FC-BGA

5、陶瓷PZT内部缺陷检查

500um厚压电材料(陶瓷）内部的大大小小的气泡

6、工程塑料

射出成型树脂的流动状况

7、CFRP (Carbon Fiber Reinforced Plastic)

8、DVD光头元件

9、IGBT

10、积层贴片陶瓷电容

11、SOI

12、靶材

13、Glass Filler

四、超声波产品